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液質聯用氮氣發生器的必定流量、純度的普氮和氫液質聯用氮氣發生器氣一同進入設置配備布置中，在混雜器中足夠混雜后，進入裝有鈀觸媒除氧器設置配備布置，在脫氧催化劑的成果下發生2H2+O2=2H2O的化學反應，抵達脫氧目的。液質聯用氮氣發生器脫氧后氮氣中的水氣始末冷卻器脫水，然后氮氣接連進入單調器單調，使氮氣露點達-60℃左右，單調器配備兩臺，其間一臺單調器舉辦吸附單調，另一臺把已吸附豐滿水氣的單調器舉辦再生，為下一周期吸附工作做好預備。經單調后的氮氣始末過濾器除塵，得到的就是高純氮氣。

液質氮氣發生器模塊化集成無油壓縮機提高了空氣供應的安全性，無需依賴外來壓縮氣源。流速范圍從5L/min-200L/min可選，可同時為一臺或多臺儀器供應氮氣。